光导板模具
应用
- 导光板加工模具(为液晶平板设备提供背光)
- 其它 MEMS/生物相关应用
特点
- 支持大尺寸加工
- 提供直角槽、半圆槽、网格槽、梯形槽、凹坑槽等多种槽型。
- 小节距(数微米)加工
- 沟槽和棱线精度高(1 μm 或更佳)
- 可加工 60 英寸产品 (1500 mm x 900 mm)。
50 μm 的节距,精度可达 1 μm 或更高。
沟槽和棱线精度高(1 μm 或更佳) - 还可用作光学器件的模具(纳米压印模具、微透镜阵列模具)。
产品加工示例
- 最大加工尺寸:达 60 英寸 (1500 x 900 mm)
- 节距:数微米及以上
- 孔距精度:1 μm
直角槽
- (×500)
-
(500×)
宽度:50 μm,深度:50 μm
半圆槽
- (×350)
-
(350×)
宽度:100 μm,深度:50 μm
格子溝
- (×380, 1700)
-
(1700×)
宽度:100 μm,深度:50 μm