校正用微小异物样品

应用

• X射线检查装置用的校正样品
• 锂电池、燃料电池的异物检查用样品
• 食品的异物混入用测试品
• 微小的检验体测定时的校正用

特点

• 异物样品的最小尺寸：Φ10μm
• 最大板厚：t10μm
• 最大工件尺寸：50mm×50mm
• 能够进行样品的检出
• 形状上按照顾客要求的形状进行加工
• 通过极低加速电压进行低损伤加工
• 通过用标准尺校正的SEM（电子显微镜）测定保证尺寸精度

产品加工示例

通过彻底校正·管理的测量精度为±1μｍ的电子显微镜进行测定

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• 异物样品例

  材质：	SUS304
  直径：	Φ30μm
  板厚：	t20µm